爱搞搞
财联社 9 月 27 日讯（剪辑 史正丞）全球光刻机产业终于迎来了一个有些"不相同"的新家具——日本佳能公司本周告示，到手委派首台新一代纳米压印光刻机。
（开首：佳能公司官网）
这里最初需要阐发一下，佳能的纳米压印光刻（NIL）系统，与阿斯麦的光刻技艺有什么分辩。
传统的光刻机通过将电路图案投影到涂有光刻胶的晶圆上来转机电路图案爱搞搞，佳能确切立则是通过将"印有电路图案的掩模像印记相同压入晶圆上的光刻胶中"来分娩芯片。由于电路图案的转机不需要通过光学机制，掩模上的考究电路图案不错在晶圆上赤诚再现。
佳能在昨年十月发布了全球首台交易化纳米压印光刻系统 FPA-1200NZ2C，公司暗示这款确立不错已毕最小线宽为 14 纳米的电路图案，相配于现时分娩先进逻辑半导体用到的 5 纳米节点。
症结上风是低廉
佳能暗示，相较于传统光刻机需要复杂的光学镜片构造，纳米压印确立的构造更为简易，功耗仅需十分之一。同期还能通过单次压印形成复杂的三维电路图案，大约处分用于发轫进逻辑芯片的极细电路。
这条芯片制造道路的拓荒从 2014 年启动。昨年底开动，佳能与铠侠 ( Kioxia ) 、大日本印刷相助开动销售这款确立。
此次委派的首台确立将被送往好意思国得克萨斯电子接洽所。这是得克萨斯大学奥斯汀分校复古的一个团体，成员包括英特尔和其他芯片公司、大家部门和学术组织。这台确立将被用于芯片制造的接洽与拓荒责任。
佳能光学家具副首席本质官 Kazunori Iwamoto 对媒体暗示，公司计较在将来 3-5 年内，每年销售 10-20 台此类确立。
关于佳能来说，进一步扩充纳米压印技艺也存在一些挑战。最初由于"压印"的物理机制，这种光刻机需要更先进的技艺谨防微细的尘埃颗粒形成芯片时弊。同期由于芯片制造波及泛泛的产业链爱搞搞，拓展更多公司、荒谬是材料企业加入"纳米压印产业链"关于佳能来说也相配进攻。